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产品详情

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CG-196探針臺

CG系列為高低溫探針台 *可實現液氮77K(-196 ℃)到﹢200℃的溫度測試 *可提供10-6torr的真空環境, 防震系統一體化設計*配置液氮瓶、真空泵及顯微鏡機構 *標配4個真空探針臂,可升級到6個
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產品介紹

 

特性-

-溫度範圍:77K—480K  (-196℃—200℃)

-框架采用焊接以保證堅固的結構

-通過外置探針座來控制探針重新定位

-顯微鏡移到架橋邊以方便打開真空倉

-顯微鏡視野可使用滑臺控制移動,X-Y軸移動範圍 25mmx25mm,定位精度1微米

-可升級到6個探針座

-同軸卡盤高低溫時可達到10pA精度

-配備防震桌

-可選擇高真空腔(10 exp-6 Torr)

-可量測射頻50GHz

詳細規格

-卡盤直徑40mm

-溫度的精度為0.1度

-液氮瓶50升

-探針座X-Y-Z三軸移動範圍:25mmx25mmx25mm,精度1微米

-顯微鏡X-Y軸移動範圍:1英寸x1英寸

連續變焦:0.7X—­4.5X

目鏡:20X

總放大倍數:14X—90X

150W燈源箱

雙分支鵝頸管燈源

  4個調平支腿

配置

電源:220V、60Hz、1500W

液氮:50升

液氮罐

規格

尺寸:1300mm長x1100mm寬x1500mm高

重量:300Kg

操作說明

    溫度控制單元

當需要溫度達到室溫以下時,卡盤需要通過液氮來降溫以達到溫度低於事先設置的溫度。比例積分微分控制器可以控制溫度來加熱卡盤中的加熱組件。

液氮單元

使用液氮降溫,蒸發後氮氣加壓液氮鋼瓶上空間來推動液氮的流出,液氮的流量可以使用額外氮氣的加壓、液氮鋼瓶的出口閥和氮氣排氣閥來控制。

真空倉單元

真空倉使用真空泵產生10 exp -3 Torr,提供給很低的溫度應用;

BNC母接頭用來連接儀表的信號裝置;

真空泵配備排氣過濾裝置,以避免汙染客戶的環境;

探針座單元

所有探針座都在真空倉外設置,這將幫助工程師在真空環境下進行量測。特別是,當溫度降低的時候,晶圓開始收縮,探針已經偏離需要量測的測試樣品,工程師需要重新定位探針,將探針紮到測試樣品上。

顯微鏡單元

顯微鏡可以通過架橋結構移動到旁邊,以方便打開真空倉的蓋子。顯微鏡可以通過真空倉上面的窗口觀看探針做的定位,

LED光圈光源采用無段式旋鈕控制亮度

  • 奕葉探針座EB-050操作手冊SC

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