产品详情
CG-196探針臺
產品介紹 | ||
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特性- | -溫度範圍:77K—480K (-196℃—200℃) -框架采用焊接以保證堅固的結構 -通過外置探針座來控制探針重新定位 -顯微鏡移到架橋邊以方便打開真空倉 -顯微鏡視野可使用滑臺控制移動,X-Y軸移動範圍 25mmx25mm,定位精度1微米 -可升級到6個探針座 -同軸卡盤高低溫時可達到10pA精度 -配備防震桌 -可選擇高真空腔(10 exp-6 Torr) -可量測射頻50GHz | |
詳細規格 | -卡盤直徑40mm -溫度的精度為0.1度 -液氮瓶50升 -探針座X-Y-Z三軸移動範圍:25mmx25mmx25mm,精度1微米 -顯微鏡X-Y軸移動範圍:1英寸x1英寸 連續變焦:0.7X—4.5X 目鏡:20X 總放大倍數:14X—90X 150W燈源箱 雙分支鵝頸管燈源 4個調平支腿 | |
配置 | 電源:220V、60Hz、1500W 液氮:50升 液氮罐 | |
規格 | 尺寸:1300mm長x1100mm寬x1500mm高 重量:300Kg | |
操作說明 | 溫度控制單元 | 當需要溫度達到室溫以下時,卡盤需要通過液氮來降溫以達到溫度低於事先設置的溫度。比例積分微分控制器可以控制溫度來加熱卡盤中的加熱組件。 |
液氮單元 | 使用液氮降溫,蒸發後氮氣加壓液氮鋼瓶上空間來推動液氮的流出,液氮的流量可以使用額外氮氣的加壓、液氮鋼瓶的出口閥和氮氣排氣閥來控制。 | |
真空倉單元 | 真空倉使用真空泵產生10 exp -3 Torr,提供給很低的溫度應用; BNC母接頭用來連接儀表的信號裝置; 真空泵配備排氣過濾裝置,以避免汙染客戶的環境; | |
探針座單元 | 所有探針座都在真空倉外設置,這將幫助工程師在真空環境下進行量測。特別是,當溫度降低的時候,晶圓開始收縮,探針已經偏離需要量測的測試樣品,工程師需要重新定位探針,將探針紮到測試樣品上。 | |
顯微鏡單元 | 顯微鏡可以通過架橋結構移動到旁邊,以方便打開真空倉的蓋子。顯微鏡可以通過真空倉上面的窗口觀看探針做的定位, LED光圈光源采用無段式旋鈕控制亮度 |