HCC602 冷熱夾盤
HCC602溫控晶圓夾盤支持 -190℃ ~ 600℃範圍的樣品溫控,並且溫度均勻性好。主機設計小巧,可以集成到光學顯微鏡,紅外,拉曼光譜儀等設備,進行溫控的同時支持光學觀察,也可集成到探針臺上,進行電學測試。
結構緊湊,可集成到晶圓探針臺上,設計用於探針測試
可編程控溫,涵蓋不同溫度段(具體由型號而定)
適用不同尺寸晶圓的真空吸附槽設計
可降溫到 80K
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
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