产品详情
產品介紹 | ||||
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產品簡介 | EB系列是我們的旗艦探針臺產品線,在DC和RF應用中提供可重復的,良好的測量奠定了堅實的基礎。 | |||
功能特點 | -同軸滑臺驅動的探針臺 XY同軸載物臺低重心僅25mm厚 用戶友好的一只手抓住兩個XY旋鈕 快速移動25mm /轉 方便快速找到目標物 精細定位10微米Die目標物 -卡盤上/下調整 卡盤快速Z-移動:4毫米(可選大旋鈕滑臺) -無間隙運動 -可安裝12個探針座 -可安裝4.5英寸探針板支架 -探針座備用區 -用於方便鏡頭切換的顯微鏡仰角 | |||
應用 | 基礎IV/CV;射頻,毫米波;高壓,高電流 | |||
配件 | 帶溫度控制器的熱卡盤 | 防震桌 | 屏蔽箱 | |
規格參數 | 探針臺面積 | 580 mm 寬 x 460mm 深 | ||
探針臺高度 | 200mm(到平臺)/700 mm (到顯微鏡) | |||
探針臺重量 | 60kg | |||
平臺材料 | 硬鉻電鍍鋼 | |||
平臺尺寸 | 250 mm內部, 450mm 外部 | |||
平臺容量 | 12 DC 或 4 RF 4 DC | |||
探針座安裝 | 磁性ON/OFF開關 | |||
真空開關的數量 | 4 | |||
卡盤材料 | 不銹鋼 | |||
卡盤臺類型 | 同軸(大旋鈕高精度滑臺) | |||
卡盤行程範圍 | 6” x 6” | |||
卡盤快速移動 | 25mm/rev | |||
卡盤精度 | 1 µm | |||
卡盤旋轉粗調行程 | 360˚ | |||
卡盤旋轉精度 | 0.01° | |||
卡盤 Z向移動 | 4mm 範圍 | |||
卡盤 Z 向精度 | 10 µm | |||
同軸卡盤運動 | 斜面齒輪和齒條0.8mm間距 | |||
大旋鈕卡盤移動 | 高精度線性探針臺 | |||
卡盤大小 | 6” (150 mm) | |||
卡盤平面度 | 3 µm | |||
卡盤剛度 | 15 µm / 10 N @ 邊沿 | |||
卡盤真空槽 | 中心,1.5”, 3” ,5”(單獨控制) | |||
卡盤偏置容量 | 可達到 2kV | |||
卡盤隔離 | 5 GΩ | |||
DUT 尺寸範圍 | 2 mm - 150 mm | |||
顯微鏡滑臺類型 | 高精度線性探針臺 | |||
顯微鏡滑臺精度 | 1 µm | |||
顯微鏡滑臺行程範圍 | 2” x 2” | |||
顯微鏡仰角(可選) | 35° | |||
顯微鏡變焦範圍 | 1x - 5x | |||
顯微鏡目鏡 | 20x | |||
顯微鏡放大範圍 | 20x-100x | |||
| 高倍金像顯微鏡 | 可選配 | ||
探針座選擇 | |
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探針座都提供X-Y-Z直線運動行程,無齒隙,安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關底座 | |
| EB-050 精度:0.8µm 螺絲精度:212µm 行程範圍:線性12 mm X-Y-Z尺寸:52 mm W X 96 mm D X 76 mm H重量:550 g 用途:支持DC/RF |
| EB-700 精度:2µm 螺絲精度:630µm 行程範圍:線性12 mm X-Y-Z尺寸:38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量:200 g 用途:僅DC |
| EB-005 精度:0.3µm 螺絲精度:125µm 行程範圍:線性12 mm X-Y-Z尺寸:90 mm W X 130 mm D X 90 mm H重量:1000 g 用途:支持DC/RF |
防震臺選擇 | |
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| VFT-3636 尺寸:36英寸(寬)x 36英寸(深)x 36英寸(高) 垂直固有頻率:1.5 Hz 隔離效率:@ 5 Hz 85% 水平固有頻率:1.2 Hz 隔離效率:@ 5 Hz 91% 空氣需求量:80 psi 凈負載:200kg 材質:鋼桌面 |