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产品详情

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EB-6探針臺

*同軸旋鈕 *可單手同時操作卡盤XY軸移動 *樣品可快速移動到指定位置進行量測
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產品介紹

 

產品簡介

EB系列是我們的旗艦探針臺產品線,在DC和RF應用中提供可重復的,良好的測量奠定了堅實的基礎。

功能特點

-同軸滑臺驅動的探針臺

    XY同軸載物臺低重心僅25mm厚

    用戶友好的一只手抓住兩個XY旋鈕

    快速移動25mm /轉 方便快速找到目標物

    精細定位10微米Die目標物

-卡盤上/下調整

     卡盤快速Z-移動:4毫米(可選大旋鈕滑臺)

-無間隙運動

-可安裝12個探針座

-可安裝4.5英寸探針板支架

-探針座備用區

-用於方便鏡頭切換的顯微鏡仰角

應用

基礎IV/CV;射頻,毫米波;高壓,高電流

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規格參數

探針臺面積

580 mm 寬    x 460mm 深

探針臺高度

200mm(到平臺)/700 mm (到顯微鏡)

探針臺重量

60kg

平臺材料

硬鉻電鍍鋼

平臺尺寸

250 mm內部,    450mm 外部

平臺容量

12 DC 或 4    RF 4 DC

探針座安裝

磁性ON/OFF開關

真空開關的數量

4

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺類型

同軸(大旋鈕高精度滑臺)

卡盤行程範圍

6” x 6”

卡盤快速移動

25mm/rev

卡盤精度

1 µm

卡盤旋轉粗調行程

360˚

卡盤旋轉精度

0.01°

卡盤 Z向移動

4mm 範圍

卡盤 Z 向精度

10 µm

同軸卡盤運動

斜面齒輪和齒條0.8mm間距

大旋鈕卡盤移動

高精度線性探針臺

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 µm

卡盤剛度

15 µm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心,1.5”, 3” ,5”(單獨控制)

卡盤偏置容量

可達到 2kV

卡盤隔離

5 GΩ

DUT 尺寸範圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡滑臺類型

高精度線性探針臺

顯微鏡滑臺精度

1 µm

顯微鏡滑臺行程範圍

2” x 2”

顯微鏡仰角(可選)

35°

顯微鏡變焦範圍

1x - 5x

顯微鏡目鏡

20x

顯微鏡放大範圍

20x-100x

 

高倍金像顯微鏡    

可選配






探針座選擇

 

探針座都提供X-Y-Z直線運動行程,無齒隙,安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關底座

 

EB-050

精度:0.8µm

螺絲精度:212µm

行程範圍:線性12 mm X-Y-Z尺寸:52  mm W X 96 mm D X 76 mm H重量:550 g

用途:支持DC/RF

 

EB-700

精度:2µm

螺絲精度:630µm

行程範圍:線性12 mm  X-Y-Z尺寸:38 mm W X 62 mm D X 45 mm H重量:200 g

用途:僅DC

 

EB-005

精度:0.3µm

螺絲精度:125µm

行程範圍:線性12 mm X-Y-Z尺寸:90  mm W X 130 mm D X 90 mm H重量:1000 g

用途:支持DC/RF

防震臺選擇

 

 

VFT-3636

尺寸:36英寸(寬)x 36英寸(深)x 36英寸(高)

垂直固有頻率:1.5 Hz

隔離效率:@ 5 Hz 85%

水平固有頻率:1.2 Hz

隔離效率:@ 5 Hz 91%

空氣需求量:80 psi

凈負載:200kg

材質:鋼桌面

  • 奕葉探針座EB-050操作手冊SC

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