產品簡介

EB-6V是針對mmW研究用，產品已通過市場驗證的解決方案。 以下功能可用於此系統：

功能特點

-將探針座與探頭直接對接，去除擴頻器和探頭之間的波導

-適用於不同尺寸的擴頻器和負載牽引器的低重心探針座

-配備千分表可確定探針在pad上的接觸劃痕

-集成準，可直接連接探頭

-南北橋，用於額外的DC和RF微調探針座

-卡盤同軸滑臺驅動

    XY同軸載物臺低重心僅25mm厚

    用戶友好的一只手抓住兩個XY旋鈕

    快速移動25mm /轉 方便快速找到目標物

    精細定位10微米Die目標物

-無間隙運動

-探針座備用區

應用

-高性能射頻

-毫米波

-差分毫米波

-基礎IV/CV

配件

帶溫度控制器的熱卡盤

防震桌

屏蔽箱

規格參數

探針臺面積

760 mm 寬    x 660mm 深

探針臺高度

220 mm (到平臺)/700 mm (到顯微鏡)

探針臺重量

80kg

平臺材料

硬鉻電鍍鋼

平臺尺寸

120 mm x    180 mm（南和北）

平臺容量

4 RF 和2    DC 或者 2 RF 和 4 DC

南北橋平臺探針座安裝

磁性ON/OFF開關

南北橋平臺額外探針座的數量

每一平臺可容納四個探針座

卡盤材料

不銹鋼

卡盤臺類型

同軸

卡盤行程範圍

6” x 6”

卡盤精度

1 µm

卡盤Theta粗調行程

360˚

卡盤Theta精度

0.01˚

卡盤Z向移動範圍

4 mm

卡盤Z向精度

1µm

同軸卡盤運動

斜面齒輪和齒條0.8mm間距

卡盤大小

6” (150 mm)

卡盤平面度

3 µm

卡盤剛度

15 µm / 10 N @ 邊沿

卡盤真空槽

中心，1.5”, 3.5”,7”（單獨控制）

卡盤偏置容量

可達到 2 kV

卡盤隔離

5 GΩ

DUT 尺寸範圍

2 mm - 150 mm

顯微鏡滑臺類型

高精度線性探針臺

顯微鏡滑臺精度

1 µm

顯微鏡滑臺行程範圍

2” x 2”

顯微鏡快速提升（可選）

50 毫米（氣動）

顯微鏡變焦範圍

1,4x - 9x

顯微鏡目鏡

30x

顯微鏡三目端口

C型接口

顯微鏡放大範圍

42x-270x

EB-KRF

線性精度：0.5 µm

角度精度：0.0005˚

行程範圍：線性50 mm X-Y，25 mm  Z，角度±5˚

尺寸：

290 mm W x 140 mm D x 130 mm H

重量：6000g

擴頻器廠牌：VDI，OML，Keysight，R＆S和其他類似尺寸的擴頻器

剛度：150 Kgf

螺絲類型：3/8”不銹鋼螺桿

下針深度指示器：0.5 µm

探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關底座

EB-050

精度：0.8µm

螺絲精度：212µm

行程範圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：52  mm W X 96 mm D X 76 mm H重量：550 g

用途：支持DC/RF

EB-005

精度：0.3µm

螺絲精度：125µm

行程範圍：線性12 mm X-Y-Z尺寸：90  mm W X 130 mm D X 90 mm H重量：1000 g

用途：支持DC/RF

VFT-4836

尺寸：48” W x 36” D x 36” H

垂直固有頻率：1.5 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 85％

水平固有頻率：1.2 Hz

隔離效率：@ 5 Hz 91％

空氣需求量：80 psi

凈負載：200kg

材質：鋼桌面