產品簡介

這個一款小但可靠且穩定的探針臺。 與市場上現有的探針臺相比，該探針臺具有更大的靈活性。

關鍵特點

20kg 重量

體積小重量輕配備抗震囊,方便移動到儀表端搭配使用

配備有150x可選變焦數碼顯微鏡

320mm x 320mm面積（射頻型號為360 mm x 280 mm）

放置在幹燥環境下的手套箱裏（熱./冷或X傳感器測試）

放在太陽模擬器正下方的光學臺面上-X

用於芯片和模具

與生產測試分開的一次性測試

學術使用

多功能應用

平臺能夠容納6 個直流探針

該探針臺可用於4端口射頻測量

高壓應用能力

探針座都提供X-Y-Z直線運動行程，無齒隙，安裝選項包括磁鐵、真空或磁鐵開關

EB-050

0.8µm精度

52 mm W X 96 mm D X 76 mm H

550 g

2“，4”探針臺的射頻能力

EB-700

2µm精度

38 mm W X  62 mm D X 45 mm H

200 g

探針桿

-因漏電性能而異

-從螺絲，彈簧，插管中選擇

-連接可以是同軸或三軸線

-可以為HV定制支架

漏電等級

-螺絲(BNC): 10 nA

-彈簧（BNC）:10 nA

-插管(BNC): 500 fA

-螺絲(TRX): 500 fA

-彈簧（TRX）:10 pA

-插管(TRX): 100 fA

-

RF射頻探針支架

-適用於安裝高頻探針頭

-包括平面傾斜旋鈕

-C-2-RF 帶有EB-050的選擇

選擇下面的一些配件為C-2探針臺添加一些應用。 有關更多選擇，請咨詢我們或我們的當地經銷商。

屏蔽箱手提箱

-電氣連接的引線

-扇出門樣式，便於設置和操作

熱卡盤

可編程式控制溫，涵蓋不同溫度段

適用不同尺寸晶圓的真空吸附槽設計 

可降溫到 80K 

可選三同軸介面，以實現pA級測試 

可從溫控器或電腦軟體控制，可提供軟體SDK

 http://www.hsinstrument.com/products/index/?cid=104

四點探針模式

-切換顯微鏡，用於四點探頭

-做薄膜制程質量驗證的電阻率測量