型號

SM-4

SM-6  mini

SM-6

外形

400mm長*400mm寬*550mm高

400mm長*400mm寬*550mm高

680mm長*530mm寬*550mm高

重量

約30KG

約35KG

約45KG

電力需求

220VC,50~60Hz

樣品臺

尺寸

4英寸，可360度旋轉

6英寸，可360度旋轉

6英寸，可360度旋轉

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移動精度

10um

樣品固定方式

真空吸附

背電極測試功能

有，樣品臺電學獨立懸空

針座平臺

U型平臺，可放置6個針座

U型平臺，可放置8個針座

光學特性

顯微鏡行程

可360度旋轉，Z軸：50.8mm

放大倍數

16~100X  （200X可選）

CCD像素

50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）

點針規格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏電精度

10pA/100fA      （配置屏蔽箱時）

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口

可選附件

加熱臺

光強/波長測試選件

屏蔽箱

射頻測試附件

轉接頭

有源探頭

防震臺

低電流/電容測試選件

鍍金卡盤

兼容積分球測試選件

同軸/三軸卡盤

光纖夾具耦合測試選件

樣品臺快速升降，微調升降裝置 選件

PCB/封裝夾具測試選件

樣品臺旋轉微調選件

特殊定制

應用方向

芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。