型號

SE-4

SE-6

SE-8

SE-12

外形

580mm長*620mm寬

*730mm高

640mm長*700mm寬

*730mm高

660mm長*660mm寬

*700mm高

1030mm長*820mm寬

*730mm高

重量

約70KG

約80KG

約85KG

約180KG

電力需求

220VC,50~60Hz

樣品臺

尺寸

4英寸，可360度旋轉

6英寸，可360度旋轉

8英寸，可360度旋轉

12英寸，可360度旋轉

X-Y行程

4英寸*4英寸

6英寸*6英寸

8英寸*8英寸

12英寸*12英寸

Z軸行程

6mm（快速切換）/6mm（微調）

其他

移動精度：10um/1um。     樣品固定方式：真空吸附。      背電極測試功能：有，樣品臺電學獨立懸空

針座平臺

U型平臺，可放置6個針 座

U型平臺，可放置8個 針座

U型平臺，可放置 10個針座

U型平臺，可放置 12個針座

光學特性

顯微鏡移動

行程：X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm。  移動精度：1um

放大倍數

16~100X/20~4000X

鏡頭規格

目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配）

CCD像素

50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）

點針規格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

機械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏電精度

10pA/100fA   （配置屏蔽箱時）

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三同軸接口

可選附件

顯微鏡傾仰裝置（傾仰30 度）

高低溫樣品臺

光強/波長測試選件

顯微鏡氣動升降裝置

屏蔽箱

射頻測試附件

激光微加工

轉接頭

有源探頭

探針卡夾具

防震臺

低電流/電容測試

顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件

鍍金卡盤

兼容積分球測試選件

液晶漏電分析套裝

同軸叁軸卡盤

光纖夾具耦合測試選件

高壓/大電流測試套件

樣品臺快速升降，微調升降裝置選件

PCB/封裝夾具測試選 件

加熱臺

樣品臺旋轉微調選件

特殊定制

應用方向

芯片及LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。