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4200A-SCS 參數分析儀

4200A-SCS 是一種可以量身定制、集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和快速脈衝式I-V 特性。作為參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。
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產品簡介                    

                     

4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀,可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈衝式I-V 特性。作為高性能的參數分析儀,4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。                    

     

典型應用

 

I-V 源測量單元  (SMU)

  ± 210 V/100  mA 或 ± 210 V/1 A 模組

  100 fA 測量解析度

  選配前端放大器提供了 10  aA 測量解析度

  10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量

  四象限操作

  2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元  (CVU)

  AC 阻抗測量 (C-V,  C-f, C-t)

  1 kHz - 10 MHz 頻率範圍

● ± 30 V內置 DC 偏置源,可以擴展到  ± 210 V

  選配 CVIV 多通道開關,在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換

脈衝式 I-V 超快速脈衝測量單元 (PMU)

  兩個獨立的或同步的高速脈衝  I-V 源和測量通道

  200 MSa/s5  ns 取樣速率

  ±40 V (80 V  p-p),±800 mA

  瞬態波形捕獲模式

  任意波形發生器,支援多電平脈衝波形,10 ns 可程式設計解析度

高壓脈衝發生器單元 (PGU)

  兩個高速脈衝電壓源通道

  ±40 V (80 V  p-p),± 800 mA

  任意波形發生器,支援多電平脈衝波形,10 ns 可程式設計解析度

I-V/C-V 多通道開關模組  (CVIV)

  I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換,無需重新佈線或抬起探針

  C-V 測量移動到任意端子,無需重新佈線或抬起探針

  支持 ±210 V DC 偏置源

遠端前端放大器 / 開關模組 (RPM)

● 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈衝 I-V 測量之間自動切換

  4225-PMU 的電流靈敏度擴展到數十皮安

  降低電纜電容效應

 


主要性能指標

 

MOSFET, BJT 電晶體

材料表徵

非易失性存放裝置

電阻率係數和霍爾效應測量

NBTI/PBTI

III-V 族器件

失效分析

納米器件

二極體和pn 聯結

太陽能電池

感測器

MEMS 器件

電化學

LED OLED

 

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