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真空閥門箱

此款真空閥門箱為Instec真空熱台的氣氛控制設計。閥門箱針對冷熱台的真空應用特點，整合了真空管道系統中真空閥門，精簡了用戶連接和操作真空管道的步驟。 此款閥門箱可用於熱台抽真空的應用，也可用於先抽真空再充氣氛的應用。閥門箱針對抽真空、通入氣氛、排出廢氣這三個步驟設計了對應的閥門。操作簡單，實驗效率高。
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功能特點

 

為Instec真空熱台的應用設計

可用於先真空再充氣氛的實驗應用

整體式真空閥門箱，精簡真空管道的佈置

真空度可達 10^(-3) mBar （0.1 Pa）

附贈一個指標式真空計，便於閥門操作時瞭解真空度

 

 

產品參數

 

真空度

10^(-3)  mBar （0.1 Pa）

真空介面

寶塔介面        x5

KF16介面      x1 （連真空計）

應用

1. 熱台腔體抽真空

2. 熱台腔體先抽真空再充氣氛

附贈

指針式真空計

 

典型應用操作

 

使用真空閥門箱進行“先抽真空再充氣氛”的應用。

Step1. 為熱台抽真空。保持閥門V1、V2的關閉，打開閥門V3，開始對熱台抽真空；

Step2. 為熱台通氣氛。關閉閥門V3，而後打開閥門V2，開始為熱台通入氣氛；

Step3. 排出廢氣。關閉閥門V2，而後打開閥門V1，為熱台排出廢氣。


 

 

 


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