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INSTEC 系列

HCS410 冷热台 (Hot & Cold Stage)

冷热台
Hot and Cold Stages
高低温晶圆夹盘
Hot and Cold Chucks
冷热平板
Hot and Cold Plates
温控设备及附件
Temperature Controllers
and Accessories
液晶检测设备
Liquid Crystal
Measurement Instruments
产品定制
Custom Products
FLC Electronics 系列
Diagnostic Instruments 系列

 

 

 

在某些情况下,不能采用外框水冷方式进行外框冷却,例如无尘室,那么您可以选择HCS410Instec HCS410 冷热台内置了散热风扇进行外框、物镜的冷却 。与HCS402一样, HCS410 也采用了双层加热从而消除样品仓垂直温差。

 

技术参数

温度范围

-60°C~ 400°C

低于室温操作需要制冷配件

温度分辨率

 0.1°C (使用STC200

0.01°C (使用mK1000

温度稳定性

±0.1°C  (使用STC200 100°C  时)

±0.01°C (使用mK1000 100°C  时)

最低控温速率

±0.1°C  /小时

最快加热速率

+50°C /分钟 (100°C时)

最快降温速率

-50°C /分钟

(100°C 并使用 LN2-P4 )

控温方式

Switching PID

温控传感器

100 Ω 铂电阻传感器

物镜最小工作距离

6.5 mm (可以提供更小的物镜工作距离)

聚光境最小工作距离

13 mm (可以提供更小的聚光镜工作距离)

样品

38 mm x 50 mm

样品仓高度

2.0 mm (使用增高垫可以升至6mm )

样品视窗大小

5 mm 透光

X-Y移动分辨率

(可选)

10 μm

视图尺寸

图注:

1 载物板

2 物镜

3 加热腔

4 加热器

5 隔热板

6 垫圈

7 X-Y 微动装置

8 散热扇

9 内衬玻璃

10 外罩玻璃

11 底板(带连接孔)

12 聚光镜

HCS410 详细信息(英文版)
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