INSTEC 系列 TP104SC大尺寸半导体冷热平板 (Hot & Cold Plate)
特 点 
- 编程进行精确温度控制，范围：-30°C 至90°C
- 表面温度均匀性高
- 可选配内外罩
- 超薄设计，易于和探针台、显微镜一体化
- 优良的防静电设计
- 可选配真空/气密型
- 快速加热，快速冷却
技术参数
温度范围 |
-40°C~ 90°C（可选配更高温度上限产品） |
温度分辨率 |
0.1°C （使用STC200） 0.01°C （使用mK1000） |
温度稳定性 |
±0.1°C （使用STC200 在100°C 时） ±0.01°C （使用mK1000 在100°C 时） |
最小控温速率 |
±0.1°C /小时 |
最快加热速率 |
+50°C /分钟 (37°C时) |
最快降温速率 |
-50°C /分钟 (37°C时) |
控温方式 |
PID with Linear Variable DC |
温控传感器 |
100 Ω 铂电阻传感器 |
物镜最小工作距离 |
4.9 mm |
样品区 |
25.4 mm x 25.4 mm 使用内罩 1 25.4 mm x 76.2 mm 使用内罩 2 33 mm x 91 mm 不使用内罩 |
样品仓高度 |
0.76 mm （使用内罩） |
样品视窗大小 |
26.6 mm 反射 10.0 mm 反射（使用内罩时） |
真空埠 |
1/8 NPT female（美标螺纹管） |
测量口 |
1/8 NPT female（美标螺纹管） |
视图尺寸
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