圆形冷热夹盘系统（ Hot & Cold Chuck）
特 点 
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-100°C 至310°C范围内高精度温度控制
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优良的表面温度均匀性
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相互独立的真空通道适用于不同大小的晶圆
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超薄设计易于实现探针台一体化
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具有优良的气密性和低噪声
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良好的接地性能
- 快速加热、快速冷却性能
选 型 表
| 尺寸 | 型号1, 2, 3 | 样品直径 | 温度范围 4 | 最快加热速率 |
| 最小 最大 | ||||
| 150 mm | HCC206R, | 12 mm 152 mm | -100°C ~ 200°C | +60°C / 分 （100°C时） |
| HCC206RT | ||||
| 150 mm | HCC306R, | 12 mm 152 mm | -100°C ~ 310°C | +60°C / 分 （100°C时） |
| HCC306RT | ||||
| 200 mm | HCC208R, | 40 mm 203 mm | -80°C ~ 200°C | +50°C / 分 （100°C时） |
| HCC208RT | ||||
| 200 mm | HCC308R, | 40 mm 203 mm | -80°C ~ 310°C | +50°C / 分 （100°C时） |
| HCC308RT | ||||
| 300 mm | HCC20CR, | 95 mm 304 mm | -60°C ~ 200°C | +30°C / 分 （100°C时） |
| HCC20CRT | ||||
| 300 mm | HCC30CR, | 95 mm 304 mm | -60°C ~ 310°C | +30°C / 分 （100°C时） |
| HCC30CRT |
技术参数
温度分辨率 |
0.1°C （使用 STC200温度控制器时） 0.01°C with mK1000（使用mK1000温度控制器时） |
温度稳定性 |
±0.1°C （使用STC200 在100°C 时） ±0.01°C （使用mK1000 在100°C 时） |
温度均匀性 |
±0.1°C / cm (可定制温度均匀性更佳的产品) |
最低控温速率 |
±0.1°C /小时 |
控温方式 |
Switching PID |
温控传感器 |
100 Ω 铂电阻传感器 |
表面平整度 |
10 µm (常温状态下) |
附件信息
附 件 |
说 明 |
STC200 Options |
参照STC200温度控制器,选择您要的型号 (例如： IEEE-STC200: IEEE 488 通讯接口型) |
LN2-SYS |
液氮制冷装置. ：请根据要求选择相应型号 |
WP115C/WP230C |
115V /230V 循环水泵：用于快速冷却样品仓至5°C |
WP115F/WP230F |
115V / 230V 循环水泵: 用于冷却平台外框 |
视图尺寸
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