INSTEC 系列 TS102S & TC104S半导体高低温晶圆夹盘（ Hot & Cold Chuck）
特 点 
- -25°C 至90°C范围内高精度温度控制
- 采用半导体制冷
- 最大能够容纳4吋晶元
- 优良的表面温度均匀性
- 超薄设计易于实现与探针台一体化
- 凸台设计方便晶圆装载
- 快速加热、快速冷却性
- 可定制更高温度上限产品
选 型 表
型号 |
样品区 最小 最大 |
温度范围 |
最快加热速率 |
TC102S |
8 mm 40 mm |
-25°C ~ 90°C |
+30°C /分钟 （ 37°C时） |
TC104S |
8 mm 100 mm |
-25°C ~ 90°C |
+30°C/分钟 （ 37°C时） |
技术参数
温度分辨率 |
0.1°C （使用STC200） 0.01°C （使用mK1000） |
温度稳定性 |
±0.1°C （使用STC200 在37°C 时） ±0.01°C （使用mK1000 在37°C 时） |
温度均匀性 |
±0.1°C / cm（要求更好温度均匀性可联系我们） |
最低控温速率 |
±0.1°C / 小时 |
控温方式 |
PID with Linear Variable DC |
温度传感器 |
100 Ω铂电阻传感器 |
表面平整度 |
15 µm （室温） |
视图尺寸
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